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第461章 哟,超了?!

第461章 哟,超了?! (第2/2页)

工件台总体看起来个头不算小,不是下面一个带导轨的架子上面一个台子那么简单,顶部是工件台系统,中间是隔振系统,底部才是基座,不过后两者严格说来不是工件台的一部分,是光刻机的一部分了。
  
  “介绍介绍吧,易师傅。”
  
  这里面,八级钳工易中海无疑是领头的那个,反而没有专业的机械设计人员,主要是厂里没有,所以这个东西,全靠这帮大小师傅的经验来完成了。
  
  高振东点了名,易中海就指着机器,一点一点的介绍起来,用语平实,有不少他们钳工车工等工种的行内话,高振东还得问一问是什么意思才能完全理解,颇有一点前世看互联网黑话的感觉。
  
  师傅们对高振东毫不遮掩自己在这方面的短处,大大方方问问题的作风,也是心中认可,对味儿!一个个的都热情解答。
  
  经过一番沟通,高振东大概明白了这个工件台的基本路线和原理,高振东要求的精度,没超出各位大师傅的能力范围,也没玩别的花活儿或者高科技,差不多就是用机床减速机构实现的精确运动控制。
  
  减速机构说起来是减速,根子上就是按照一定比例改变运动状态,其实可以用于不同的用途,力矩缩放、尺寸缩放、运动状态缩放等等,都行。
  
  宏动用的齿轮,微动用了丝杠,三轧厂的大师傅们通过精心的设计,让齿轮组、丝杠等等巧妙配合,实现了对工件台的运动的精确定位。
  
  在日后不算精确,这个时候可就很精确了。
  
  对于这个东西,高振东既没有要求运动速度,也没要求定位速度和稳定速度,这让大师傅们做起来需要顾忌和考虑的东西就更少,目标既明确又纯粹。
  
  那些指标,是自动化生产需要的,但是高振东现在并没有考虑那个,和PCB与焊接不同,IC这个东西整个产业规模暂时还达不到,生产那么快干嘛。
  
  先解决有没有,参与人员经验多了信心足了,再继续改进就是。
  
  高振东前世,我国77年搞的接触式和接近式光刻机,也是手动的。
  
  高振东看着手上的工件台参数表,他这个时候,有一点感受到别人面对他的时候的感觉了。
  
  那就是惊喜,我本来没想要这么好的,怎么你就拿出这么好的东西出来了?万万没想到啊。
  
  “易师傅,这个移动标准差和移动平均差,你们已经做到1.5μm了?”高振东语含惊喜。
  
  移动标准差决定了光刻线宽,移动平均差会影响套刻精度,这两个指标,是高振东在这一块最看重的,而别的指标都往后稍稍。
  
  易中海和所有的师傅对望一眼,面带自豪。
  
  “是啊,我们搞了一下子,大家合计了一下,觉得以手上的条件,加把劲,其实能搞得更好。于是大家各自想办法,拼了老命的把这个降到了1.5,想来对你们来说,应该是有用的。”话说得朴实简单,但是其中过程的艰辛应该是不少。
  
  看着易中海在工件台上一阵操作,现场的验证了1.5μm的运动精度,高振东一拍大腿:“这可太有用了!各位师傅,这么说吧,你们已经实现了我下一步想要达到的精度目标,是大跨了一步啊!谢谢你们!”
  
  说完,高振东后退一步,给大家行了个礼,然后抬起头来。
  
  “各位师傅,我在此宣布,特种工艺工件台课题,原理样机基本成功,可以转入下课题研究的下一阶段,谢谢所有参与者的辛勤劳动和艰苦付出。”
  
  各位师傅齐齐鼓掌,这位高总工为人,那真是没得说。
  
  对于高振东来说,这两个指标达到了1.5μm,至少在工件台一块,就能支撑住5~8μm的线宽制程,这大大的超出了原本的预期,加快了设想中的进度。
  
  而工件台的解决,意味着掩膜台也得到了解决,两者在结构和功用上是高度相似的,只是一个放掩模,一个放硅片。至于光学系统,基本是不动的,那玩意精贵着呢,调整好了就别动了,让掩模和工件自己动才是正理。
  
  高振东抬起头来,招呼秦怀茹:“秦师傅,麻烦你一下,你到三分厂厂办,叫他们通知总厂宣传处的同志过来一下。”
  
  直接叫秦怀茹的原因,是因为这里他熟悉的只有易中海两师徒,这种跑腿的事情,自然不太好叫易中海去做,那就只有辛苦一下秦怀茹了。
  
  秦怀茹应了一声出去了,高振东笑道:“各位师傅,这个事情虽然前面要走的路还长,但是这个喜讯,我们至少在厂内还是要好好报道一下的。”
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